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液态气体

产 品 规 格

1、高纯液氧

纯度 杂质含量 Ar N2 CH4 CO2
≥99.995% ppm ≤5 ≤20 ≤2 ≤1

2、液氩

品名 纯度 杂质含量 N2 O2 H2 总碳
高纯液氩 ≥99.999% ppm ≤4 ≤2 ≤1 ≤2
纯液氩 ≥99.99% ppm ≤50 ≤10 ≤5 ≤10

3、液氮

品名 纯度 杂质含量 O2
高纯液氮 ≥99.999% ppm ≤3
纯液氮 ≥99.99% ppm ≤50

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